マイクロ波化学、レアアース酸化物の超微粒子をマイクロ波で製造－電子部品材料の助剤

日刊工業新聞掲載日 2013年11月15日
　大阪大学発ベンチャーのマイクロ波化学（大阪府吹田市、吉野巌社長、０６・６１７０・７５９５）は電子部品の微小化に重要なレアアース（希土類）酸化物の超微粒子を、マイクロ波を使って製造するプロセスを確立した。従来は難しかったナノメートルサイズで大きさがそろい、薄膜円盤状であるため、添加・塗布により緻密な高機能材料の開発につながると期待される。岩谷産業が販売を担当し、まず酸化イットリウムでサンプル供給を始めた。

酸化イットリウムの微粒子は大きさがそろっている（マイクロ波化学提供）
　微粒子は直径１０ナノ―６０ナノメートルで厚さ１ナノ―２ナノメートル。携帯電話に使う積層コンデンサーやＬＥＤなどの小型電子部品に使う窒化アルミニウム、窒化ケイ素に添加する助剤として有望だ。微細で薄いため、緻密な膜形成などへの利用が見込める。セリウムやネオジムの酸化物も合成できる。
　製造は電子レンジに使われる電磁波のマイクロ波を、別のイットリウム化合物溶液に照射して化学反応させる。原料物質がマイクロ波を吸収して反応液中で一気に核ができる。照射を止めると反応が即時に停止し、粒子の大きさがそろう。